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目前，現有的真空腔體設計形狀多種多樣，材料以不銹鋼、鋁合金、鈦合金為主。鋁合金重量輕、加工成本低，但由于其質(zhì)地較軟無(wú)法使用刀口密封方式，只能使用橡膠圈密封的方式；鋁合金材質(zhì)的真空腔體優(yōu)點(diǎn)是拆裝方便，不足之處是只能使用橡膠圈密封，密封方式單一，鋁合金材質(zhì)和橡膠圈都有很大的放氣率，溫度適應性差，無(wú)法使用熔融焊工藝，因此適用范圍窄。鈦合金重量輕但加工成本高，焊接難度大、焊接方式受限，無(wú)法用于方形真空腔體加工。不銹鋼材料出氣率低、機械性能好，并且熔融焊接性能好，加工成本低，在真空腔體設計中被廣泛應用。
國內的真空腔體設計以圓筒形為主，內部器件無(wú)法垂直圓筒軸向安裝，只能沿圓筒軸向安裝，空間較為狹窄，裝配不便。
真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理。
真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，真空熱處理可以實(shí)現幾乎所有的常規熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質(zhì)量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時(shí)，可實(shí)現無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
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