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我們對于真空腔體的檢漏辦法了解多少呢?真空腔體加工廠(chǎng)就在這兒介紹下,真空腔體加工檢漏主要有三種:氦質(zhì)譜檢漏,真空封泥檢測法,真空計檢漏法。下面就來(lái)詳細的介紹下這三種辦法。
一、氦質(zhì)譜檢漏
該檢漏辦法是真空檢漏領(lǐng)域里不可或缺的一種技能,因檢漏效率高,操作簡(jiǎn)略,儀器反應活絡(luò ),精度高,不容易遭到其他氣體攪擾,在真空檢漏中得到了很多使用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統及電氣等部分組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內來(lái)回地振動(dòng),并與室內氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內的氦氣相互磕碰使其電離成正離子,這些氦離子在加快電場(chǎng)效果下進(jìn)入磁場(chǎng),在洛倫茲力的效果下偏轉,進(jìn)而形成了圓弧形軌道,改動(dòng)加快電壓可使不同離子通過(guò)磁場(chǎng)和接納縫到達接納極而被檢測到。其間呢,噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種辦法。
二、真空封泥檢測法
用真空泥封住可疑的漏點(diǎn),此刻要注意調查真空度的改變,如果貼上真空泥之后真空度上升較快,拿掉之后又有了顯著(zhù)的下降,這說(shuō)明便是一個(gè)漏點(diǎn)哦。然而,這個(gè)辦法在實(shí)踐檢測中用的比較少
三、真空計檢漏法
部分真空計的讀數與氣體種類(lèi)有關(guān),例如電離真空計,熱偶計。用適宜的氣體或者液體做示漏物質(zhì),這些真空計就成了探測器,一般鍍膜機上都會(huì )有真空計,在實(shí)踐使用中也是比較常用的檢漏辦法。熱偶計的示漏物質(zhì)有二氧化碳,丁烷,酒精等,熱偶計的反應比較慢,要仔細調查。用于電離計的示漏物質(zhì)主要有氦,氬,酒精等。
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