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真空腔體加工檢漏方法是真空檢漏領(lǐng)域里不可或缺的一種技術(shù),因檢漏效率高,操作簡(jiǎn)單,儀器反應靈敏,精度高,不容易受到其他氣體干擾,在真空腔體加工檢漏中得到了很多應用.氦質(zhì)譜檢漏儀是根據質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器. 由分析器、離子源、分析器、冷陰極電離規、收集器組成的質(zhì)譜室和抽氣系統及電氣等部分組成.質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內來(lái)回地振蕩,并與室內氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng),在洛倫茲力的作用下偏轉,進(jìn)而形成了圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達接收極而被檢測到.其中呢,噴氦法和吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏常用的兩種方法. 復雜的真空腔體加工通常需要定制，即專(zhuān)門(mén)為應用終端設計和制作。一些常見(jiàn)的真空腔已經(jīng)預先設計好了，如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如，脫氣箱和手套箱一般采用低真空環(huán)境，可用于焊接，也可用于塑料制品、復合層壓板、包裝部件等的脫氣。 真空腔體加工包括真空腔、真空密封傳導、視口設置、真空傳感器、真空顯示、沉積系統、蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料、飛濺目標、等離子蝕刻設備、離子注入設備、真空爐、真空泵、法蘭、閥門(mén)和管件等多個(gè)部件。真空設備常用于脫氣、焊接、薄膜涂層制備、半導體/晶圓生產(chǎn)、光學(xué)設備和特殊材料。
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