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常用的真空腔體清洗溶劑包括含洗滌劑的水、石油餾分、稀酸、堿、有機溶劑、各種金屬清洗劑等。真空腔體加工廠(chǎng)家根據不同的表面附著(zhù)，清洗需要不同的溶劑。比如腐蝕性物質(zhì)需要酸性金屬清洗劑，礦物油需要有機溶劑等。
真空腔體清洗方法：
1.超聲波清洗
超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化、加速和直接流入，直接和間接影響液體和污垢，使污垢層分散、乳化和剝離，達到清洗的目的。
2.電解腐蝕清洗
電解侵蝕清洗，類(lèi)似于電解拋光，是指在溶劑中通過(guò)電解除去金屬零件表面的薄銹或氧化膜，主要用于化學(xué)穩定性高的合金零件，如不銹鋼、耐熱鋼等。
3.蒸汽脫脂和清洗
真空腔體蒸汽脫脂是指通過(guò)用餐劑的蒸汽不斷清洗被粘物表面，達到脫脂的目的。適用于清洗表面的脂質(zhì)膜和油脂膜。操作方法簡(jiǎn)單，可實(shí)現批量清洗。一些附著(zhù)性強或污染嚴重的基材可以在擦洗或超聲波清洗后通過(guò)蒸汽脫脂進(jìn)行清洗。
4.放電清洗
放電清洗一般用于高真空和超高真空室清洗。真空腔體放電清潔的效果取決于電機材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系。電子轟擊被用來(lái)引起一些碳氫化合物的解吸和除去。
5.用氮氣清洗
真空腔體氮氣清洗主要利用吸附熱低、停留時(shí)間短、氮氣在材料表面容易抽走的特點(diǎn)，用氮氣沖洗被污染的真空系統，真空腔體加工廠(chǎng)家擠壓水蒸氣等其他氣體分子的附著(zhù)空間，縮短真空系統的抽氣時(shí)間。
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