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真空腔體常用的清洗方法
1、放電清洗
放電清洗一般用于高真空、超高真空腔體清洗中.放電清洗的效果取決于電機材料、幾何形狀及其與表面的關(guān)系.利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳氫化合物的除去.
2、氮氣清洗
氮氣清洗主要是利用了氮氣在材料表面的吸附熱小、吸留時(shí)間短,容易被抽走的特性,用氮氣沖洗被污染的真空系統,同時(shí)擠占水氣等其他氣體分子的粘附空間,縮短真空系統的抽氣時(shí)間.
真空的屬性確實(shí)是需要用空間來(lái)描述,但只是種數學(xué)表示,是為了方便研究才引入的參量,并不是說(shuō)真空的性質(zhì)取決于空間.
真空技術(shù)是建立在低于大氣壓力的環(huán)境下,以及在此環(huán)境中進(jìn)行工藝制作、科學(xué)試驗和物理測量等所需要的技術(shù).用現代抽氣方法獲得的很低壓力,每立方厘米的空間里仍然會(huì )有數百個(gè)分子存在.
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