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真空腔體應用于真空系統比較多的有兩類(lèi)橡膠：由乳膠制成的硫化橡膠、合成橡膠（包括丁基、氯基、丁晴橡膠），以及硅酮橡膠、氟橡膠等。
解決真空腔體廠(chǎng)家真空橡膠密封，除了要有正確的密封結構設計之外，合理選擇密封材料也是關(guān)鍵。影響真空密封的幾個(gè)主要因素有：橡膠的耐熱性、耐壓縮變形性、漏氣率、氣透性、出氣率，以及升華（失重）等。
耐熱性。在真空腔體真空系統中，常常要對系統或元件進(jìn)行去氣，一般通過(guò)烘烤來(lái)完成，這樣對橡膠密封件要求耐熱性，以保障烘烤去氣的順利進(jìn)行。一般烘烤溫度在120℃以下和10^-5Pa的真空度下，可以采用丁基或丁晴橡膠；如果要求更高的烘烤溫度，并且在超高真空環(huán)境中工作，則需采用氟橡膠。
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